實(shí)驗(yàn)室燃?xì)夤艿朗菍?shí)驗(yàn)室燃?xì)廨斔拖到y(tǒng)是實(shí)驗(yàn)室的重要組成部分。實(shí)驗(yàn)室使用的氣體通常是超高純度過(guò)程的普通電子氣和特殊電子氣。普通燃?xì)庀鄬?duì)穩(wěn)定無(wú)害或危害性小，特殊燃?xì)夥€(wěn)定性差，危害性大，對(duì)實(shí)驗(yàn)室燃?xì)夤艿赖陌踩蠓浅?yán)格。
 

　　實(shí)驗(yàn)室氣路工程安裝有著要求嚴(yán)格

　　1、從設(shè)計(jì)到工程的安裝應(yīng)經(jīng)過(guò)研究實(shí)驗(yàn)室環(huán)境分析主要儀器、非標(biāo)實(shí)驗(yàn)教學(xué)設(shè)備、燃?xì)夤苈愤B接和接頭的設(shè)計(jì)后方可加工。氣瓶室至實(shí)驗(yàn)室的燃?xì)夤芫€、實(shí)驗(yàn)室內(nèi)氣路箱的設(shè)計(jì)要求設(shè)置。

　　2、配管系統(tǒng)應(yīng)盡量縮短。管道鋪設(shè)應(yīng)符合設(shè)計(jì)要求。設(shè)計(jì)沒(méi)有問(wèn)題時(shí)，輸送干氣的管道應(yīng)水平設(shè)置。輸送水分的管道氣體，坡度應(yīng)不小于0.003，且坡度朝向冷凝水收集器。

　　3、管道采用焊接連接，鎢極氬弧焊打底，手工電弧焊覆蓋。不銹鋼焊接或點(diǎn)焊應(yīng)采取充氬保護(hù)措施。

　　4、不應(yīng)該有盲管和不易被吹走的死角。

　　5、管道系統(tǒng)應(yīng)設(shè)置必要的出風(fēng)口和試驗(yàn)采樣口。

　　6、燃?xì)夤苈酚薪拥匾髸r(shí)，必須在法蘭之間焊接導(dǎo)電道岔。導(dǎo)線截面和焊接搭接長(zhǎng)度應(yīng)符合設(shè)計(jì)要求。焊點(diǎn)必須牢固可靠。

　　7、燃?xì)夤艿朗┕ぶ校瑲飧准肮艿赖脑O(shè)計(jì)與安裝，以及輔助部件的選擇與安裝非常重要。這些都和你要測(cè)試的物質(zhì)的正確性有關(guān)。如果你要測(cè)試的物質(zhì)可以粗略估算的話。

　　8、燃?xì)夤艿绹娚俺P或酸洗鈍化無(wú)縫鋼管，應(yīng)采用集中安裝。安裝應(yīng)在48小時(shí)內(nèi)分段組合，用填充壓力不低于0.2MPa的氮?dú)獗Ｗo(hù)。

　　9、項(xiàng)目基本信息應(yīng)盡量完整。例如，儀表的位置、儀表使用的氣體、儀表使用的氣體壓力、流量要求、使用的儀表的進(jìn)氣口的配置、連接儀表的配管尺寸等。
 

　　管道的材料和連接要求

　　1、燃?xì)夤艿兰兌刃∮?9.99%的應(yīng)為10#或20#無(wú)縫鋼管(內(nèi)表面鍍鋅或凈化處理)和銅管。鍍鋅管道有螺紋。

　　2、總雜質(zhì)含量10-100ppm的燃?xì)夤艿啦捎?04不銹鋼光亮退火管(304BA)、304不銹鋼管凈化處理(304AP)、紫銅管。配管通過(guò)焊接連接在一起。可以使用對(duì)接焊縫、承插焊縫或套筒焊縫。

　　3、總雜質(zhì)含量1-10ppm的燃?xì)夤艿啦捎?16升不銹鋼光亮退火管(316LBA)和304不銹鋼電拋光管(304EP)。管道連接采用焊接、內(nèi)壁無(wú)劃痕對(duì)接焊和高純度電弧焊。4.對(duì)于總雜質(zhì)含量1ppm的高純度氣體管道，必須使用316升不銹鋼研磨管(3l6LEP)。管道連接應(yīng)采用焊接、內(nèi)壁無(wú)劃痕對(duì)接焊和高純氬氣保護(hù)焊在專用潔凈室中進(jìn)行。例如，配管PO2、PH2、PN2、arr、He、N2為不銹鋼316厘米配管.CDA采用不銹鋼304BA管。